PCE-6V小型等离子清洗机
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PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。PCE-6V小型等离子清洗机的样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现对样品的离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。设备体积小,操作简单,应用广泛。
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