半岛bd体育手机客户端 型号

PCE-8等离子清洗机

主要特点

1、采用6"彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

2、内部配有0-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量。

技术参数

1、电源：AC220V

2、射频功率：最大100W，可在0-100W间调节

3、真空泵功率：<500W

4、总功率：<600W

5、射频：13.56MHz

6、等离子腔体：高纯石英腔体，外径?8.5"，内径?8.2"，长12"，采用铝制折叠式法兰进行真空密封，法 兰设有一个?60mm的观察窗口

7、极限真空度：50mtorr

8、通入气体：可通入多种气体，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合气体等等（根据材料性质所定）

清洗及蚀刻

半岛bd体育手机客户端 规格

尺寸：620mm×450mm×600mm

可选配件

1、300W、600W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验）

2、2"-6"石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混气系统

4、2-4通道质子混气系统

5、直连式双旋真空泵（240L/min）

6、KF25波纹管

7、KF25手动挡板阀