悬浮抛光液
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悬浮抛光液包括金刚石悬浮抛光液、二氧化硅悬浮抛光液、氧化铝悬浮抛光液。金刚石悬浮抛光液适用于氧化镁、氧化锆、铌酸锂、钛酸锶、钽酸锂及各种有色、黑色金属的精抛。二氧化硅悬浮抛光液适用于砷化镓、磷化镓、单晶硅片、陶瓷、黑色金属及各种有色金属的精抛。氧化铝抛光液主要用于透明陶瓷材料的抛光,也可用于其它材料的抛光,抛光过程中根据被抛光材料的不同选用适合的抛光液进行抛光,悬浮抛光液以液态形式存在,可均匀分布于抛光盘的表面,有利于抛光过程的顺利进行。
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