EQ-TM106膜厚监测仪
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EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。
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