VTC-200-4P喷雾旋转涂覆机,匀胶机
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VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂膜机、匀胶机、显影机、甩胶机、旋涂仪、spin coater主要用于半导体工艺、制版工艺过程中图形的显影及表面涂覆工艺,是一款上盖可以加热的匀胶机、显影机,在匀胶或显影过程结束后使用加热功能使胶体薄膜中的溶剂继续蒸发到含量最低。工作过程中显影液或胶体以雾状喷到样片上,使溶液在样片表面均匀分布,有利于薄膜和显影过程的顺利进行。本机电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源进行控制,电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制,转数在100-2000RPM范围内可调。涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要进行设置。VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、显影机、spin coater启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。对于样件的固定,采用橡胶吸盘和磁力钢片模板,不仅样件取放自如,而且操作简便。此外,在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。
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