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1200度小型PECVD系统
1200度小型PECVD系统图片
产地: 天津


半岛bd体育手机客户端 介绍

半岛bd体育手机客户端 用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

半岛bd体育手机客户端 组成

PECVD系统配置;

1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(单独购买)

半岛bd体育手机客户端 特点

电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

系统名称 集成型PECVD系统 1200℃小型PECVD系统
系统型号 PECVD-12IH-500A PECVD-12IH-4Z/G
控制方式 液晶屏微PLC控制系统 手动
最高温度 1200℃
加热区长度 200mm
恒温区长度 100mm
温区 单温区
石英管管径 Φ60mm Φ50mm
额定功率 1.2Kw 2Kw
额定电压 220V
滑动方式及距离 自动滑动;200mm 手动滑动;200mm
温度控制 30段程序控温 50段程序控温
控制精度 ±1℃
炉管最高工作温度 <1200℃
气路法兰 采用多环密封技术卡箍快速连接
排风冷却装置 先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,
排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
气体控制方式 质量流量计(按键式)
气路数量 2路(2-4路) 4路(可根据具体需要选配气路数量)
流量范围 0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定
精度 ±1%F.S
响应时间 1sec
工作温度(流量计) 20-120℃
工作压力 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)
进气方式 采用防倒流设计
规格 中真空(集成型请单独购买)
系统真空范围 10Pa-100Pa
真空泵 双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽气速率4L/S(选配:其他抽速真空泵),出气口配有油污过滤器,额定电压220V,功率0.55Kw
信号频率 13.56MHz±0.005%
功率输出范围 0W-500W 0W-100W
最大反射功率 350W 30W
射频输出接口 50Ω,N-type,temale
功率稳定度 ±0.1%
谐波分量 ≤-50dbc
供电电压 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ
整机功率 ≥70%
屏幕显示 正方向功率,匹配器电容位置,偏置电压值
炉体外形尺寸 290×350×340mm 290×350×495mm
系统外形尺寸 420×1440×1100mm 530×2310×750mm
系统总重量 270Kg

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联系人: 秦艳凤
邮编: 300403
地址: 天津北辰科技园区双川道11号
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