1.汽化阶段：将过氧化氢溶液输入到汽化器中汽化成过氧化氢蒸汽，并通过风机输入到混合舱，等待处理；

2.等离子发生阶段：将蒸汽状态的过氧化氢引入至等离子发生舱中，将蒸汽过氧化氢转化为等离子过氧化氢，并送入至灭菌舱中；

3.生物除污保持阶段：继续向灭菌舱输入过氧化氢等离子体，直至达到预设的浓度（一般以生物试纸验证浓度值为准）开始计时，在预设的浓度之上保持30~35min，生物除污完成（经验证30min灭菌效率达到6-log），停止过氧化氢汽化和等离子化；

4.处残留阶段：气路系统切换到处残留装置，汽化等离子体的过氧化氢通过分解器转化为水和氧气，不断循环将空气中的过氧化氢浓度降到1ppm以下。

每个阶段的操作可通过手动单独控制，也可以自动控制，按照顺序逐一运行。

灭菌容积：≤100m3、200m3、300m3可选