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FM100-SE膜厚仪
FM100-SE膜厚仪图片
品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
半岛游戏平台官网入口网址 类型: 其他


半岛bd体育手机客户端 介绍

半岛bd体育手机客户端 性能介绍:

膜厚仪主要用于光面基底上的透明、半透明薄膜样品进行常规测量,可得到单层或少数多层薄膜的膜厚,也可以得到薄膜的光学参数(如,折射率n、消光系数k);适用于工业和科研中的常规测量,可应用于多种薄膜镀层工艺中,如化学机械抛光、化学气象沉积、物理气相沉积、硅片涂胶工艺等。

快速测量:仅需1-2秒就可完成一次测量

大范围膜厚测量:可测量膜厚范围从15nm – 70um

简洁操作:常规操作,只需点击一个按钮即可完

高效稳定:适用于工业现场,稳定可靠

经济实用:能够满足膜厚的常规测量,成本较低

半岛bd体育手机客户端 参数说明:

一般指标:

● 光谱范围:370 – 1000 nm

●光谱分辨率:1.6 nm

●样品大小:典型晶圆尺寸12吋(即直径300mm)

●测量光斑:典型1.5mm

●膜厚测量范围(仅测膜厚时):15 nm – 100 um

(对Si上的SiO2样品)

●膜厚测量范围(同时测膜厚和n、k时):100 nm以上

●膜层数目:1-4层

光学和机械组件:

●光源:宽光谱光源

●探测器:高灵敏低噪声阵列式光谱探测器

●控制箱:含电路板、控制单元、电源、光源

●输出设备:软件界面支持输出、输入光谱数据

性能指标:

●膜厚测量重复性:0.1 nm(对Si上100 nm的SiO2样品)

●准确度:2 nm或0.4%(对Si上的SiO2样品)

●单次测量时间:典型时间1-2秒,与测量设置和样品性质有关

软件:

●界面语言:多语言界面可选择(包括中/英文),默认中文

●操作模式:一键式常规测量模式(初学者可方便应用);高级分析模式(可进行复杂材料的高级分析)

●光谱测量:手动/自动执行用户定义的任务;光谱以标准的波长单位显示

●测量结果输出:反射率;膜厚、折射率、消光系数

●建模、模拟和拟合:软件能够拟合多层结构(单层膜、多层膜)

●结果显示:显示图形;先进的报表功能,输出测量和计算光谱、光学模型和拟合参数

●文件管理功能:软件基于Windows平台,提供全面的文件管理功能

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