一、主要特点

1.光机电一体化设计，外形结构简单；2.扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；3.精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；4.采用精密探针定位模块，更换探针简单方便5.采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；6.伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；7.高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；8.高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；9.带光学定位的CCD观察系统，实时观测与定位探针扫描样品区域10.模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；11.集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。12.弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强

二、友好的软件界面及操作功能

1.可自由选择图像采样点为256×256或512×512

2.多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

3.可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

4.可任意选择样品起始扫描角度

5.激光光斑检测系统的实时调整功能

6.可任意定义扫描图像的色板功能

7.支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

8.支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

9.支持样品图片离线分析与处理功能

三、技术规格

名 称	参 数	名 称	参 数
工作模式	1.接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力	扫描角度	任意
样品尺寸	Φ≤90mm；H≤20mm	样品移动范围	0～20mm
*大扫描范围	横向20um，纵向2um	马达趋近脉冲宽度	10±2m
扫描分辨率	横向0.2nm，纵向0.05nm	光学放大倍数	4X
扫描速率	0.6Hz～4.34Hz	光学分辨率	2.5um
扫描控制	XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A	图像采样点	256×256，512×512
数据采样	14-bit A/D、双16-bit A/D 多路同步采样	反馈方式	DSP数字反馈
计算机接口	USB2.0	反馈采样速率	64.0KHz
运行环境	运行于WindowsXP/7/8操作系统