产品用途:探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试,广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本、/span>
该探针台的承载台丹/span>60?0不锈钢台面,台面最高可升温到最髗/span>400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调芁/span>,其?/span>x方向调节范围?--30mm; y方向调节范围?–/span>20mm;z方向调节范围?–/span>20mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架x/y/z方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测、/span>
真空探针台的技术参数:
真空腔体 |
腔体材质 |
304不锈钡/span> |
上盖开?/span> |
铰链侧开 |
加热台材?/span> |
304不锈钡/span> |
内腔体尺寷/span> |
φ160x90mm |
观察窗尺寷/span> |
Φ70mm |
加热台尺寷/span> |
φ60mm |
观察窗热台间跜/span> |
75mm |
加热台温?/span> |
﹢/span>196~350ℂ/span> |
加热台温控误?/span> |
±1ℂ/span> |
真空?/span> |
机械泴/span>?0Pa 分子泵≤10-3Pa |
允许正压 |
?.1MPa |
真空抽气叢/span> |
KF25真空法兰 |
气体进气叢/span> |
3mm-6mm卡套接头 |
电信号接夳/span> |
SMA转BNC X 4 |
电学性能 |
绝缘电阻?000MΩ 介质耐压 ?00V |
探针数量 |
4探针 |
探针材质 |
钨针 |
探针尕/span> |
10μm |
探针移动平台 |
X轴移动行稊/span> |
30mm ±15mm |
X轴控制精?/span> |
?.01mm |
Y轴移动行稊/span> |
13mm ±12.5mm |
Y轴控制精?/span> |
?.01mm |
Z轴移动行稊/span> |
13mm ±12.5mm |
Z轴控制精?/span> |
?.01mm |
电子显微镛/span> |
显微镜类?/span> |
物镜 |
物镜倍数 |
0.7-4.5倌/span> |
工作间距 |
90mm |
相机 |
sony 高清 |
像素 |
1920?080像素 |
图像接口 |
VGA |
LED可调光源 |
月/span> |
显示屎/span> |
8寷/span> |
放大倍数 |
19-135?视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |