1. 石英腔体尺寸�?50X120MM

2. 样品尺寸�?0mm

3. 溅射尺寸�?0mm

4. 最大真空度�?pa

5. 可用气体：氢气、氮气等惰性气体、�/p>

6. 最大溅射速度�?nm/min

7. 功率�?00W

8. 尺寸�?60(W)X310(D)X150mm(H)

9. 带泵�?个靶材（需要其他材质的靶材联系客服（�/p>