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FT-3110自动扫描四探针测试仪

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四点探针测试仪

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FT-3110系列全自动四探针测试仪

一.功能描述：

四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.报表输出数据统计分析.

二.适用范围

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.

规格型号	FT-3110A	FT-3110B（可扩展）
1.电阻	10^-5～2×10^5Ω	10^-6～2×10^5Ω
2.方块电阻	10^-5～2×10^5Ω/□	10^-6～2×10^5Ω/□
3.电阻率	10^-6～2×10^6Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm
4.测试电流	0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA， 10mA，100mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.电流精度	±0.1%
6.电阻精度	≤0.3%
7.PC软件操作	PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、2D、3D图谱、报表生成等
8.压力范围（选购）	探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调
9.探针	针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 铜镀金或钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制
10.可测晶片尺寸载台选购	选购:载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）其他规格可定制
11.分析模式	单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
12.重复性	单点重复性：重复性≤0.5%
13.防护功能	具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
14.电源	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<600W

三.参数资料：

标准配置外订购明细：