您好,欢迎来到半岛电竞官方网址 ! [ 登录] [ 免费注册]
半岛电竞官方网址
位置: 首页> 半岛游戏平台官网入口网址> 电子/半导体
HISI-6高精度全自动光刻机
HISI-6高精度全自动光刻机图片
型号: HISI-6
货号: HISI-6(2023)
品牌: 上海螣芯
参考价格: 1580000元/台
交货期: 3个月
产地: 苏州


半岛bd体育手机客户端 介绍

全自动接触式光刻机(紫外光刻机)4-12寸可选


技术参数:

  1.工作方式:装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台,经过定位传感器及自动旋转系统的调节,实现工件的预定位;装载机械手再将完成预定位后的晶圆片装载至对准工作台,经过计算机图像识别及自动对准系统的调节,实现掩模版上图形与晶圆片上的图形的自动对准,也可以不用对位图形完成一次曝光,经过曝光系统的自动曝光后,再由卸载机械手将晶圆片自动放入 B 晶圆盒,直至整个晶圆盒内的晶圆全部完成套刻曝光。

  2.曝光面积: 6寸”(可定制)

  3.曝光照度不均匀性:≤3%;

  4.曝光强度:0~≥50mw/cm2可调;

  5.紫外光束角:≤3°(可选 2?或 1°相对曝光照度会变弱);

  6.紫外光中心波长:365nm;(可选汞灯全波段)

  7.紫外光源寿命:≥2 万小时;

  8.分离量:0~≥1090um 可调;

  9.对准精度:≤1μm;

  10.曝光方式:硬接触、软接触和接近式曝光;

  11. 曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光

  12. 定位传感器及自动旋转系统(含预订位工作台):旋转角度 Q≥±180°旋

  转精度 Q≤0.001°;

  13.图像识别及自动对准系统(含对准工作台):对准范围 X.Y≥±5mm,升旋

  转角度 Q≥±3°,显微镜整体横向相对移动≥±70mm。

  14.掩模版尺寸: 7”x7 “(可定制)

  15.晶圆尺寸: 6“(可定制)

  16.A.B 晶圆盒移动:Z≥±100mm;

  17.装卸载机械手:X≥±100mm,Y≥±100mm,Z≥±20mm;

  18.晶圆盒晶圆片数量:根据客户晶圆盒晶圆数量定;

  19.版架台移动:X.Y≥±3mm,Z≥±2mm;

  20.曝光定时:0~999.9 秒可调;

  21. 生产节拍:10 秒+曝光时间;

  22.电源:单相 AC220V 50HZ ,功耗≤1KW;

  23.洁净空气压力:≥0.4MPa;

  24.真空度:-0.07MPa~-0.09MPa;25.尺寸:1200*1000*1500mm ;

  26.重量:约 200kg


用户评论
半岛bd体育手机客户端 评分
目前评分共0人
半岛bd体育手机客户端 质量
售后服务
易用性
性价比
半岛bd体育手机客户端 评论
已有0条评论
可以输入 500
暂无评论!
上海螣芯电子科技有限公司
电话:点击&查看
联系人: 娄经理
地址: 上海市青浦区海盈路
同品牌半岛bd体育手机客户端 :
相关半岛bd体育手机客户端 :
猜您感兴趣
换一批
无损检测仪3D Micro-CT
混凝土裂缝综合检测仪
TH-7028无转子硫化仪
1100℃微波石墨剥离设备
升级版卧式收缩膨胀仪
来访登记
关闭
请留下您的联系方式,登记完成即可查看电话与供应商联系,或等候供应商联系您。
留言类型:
*姓名:
*电话:
*单位:
Email:
*留言内容:
请说明需求数量,型号规格以及纯度含量等要求。
*验证码:
Baidu
map