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RTP快速退火炉
RTP快速退火炉图片
品牌: 嘉仪這/td>
产地类别: 国产干燥设备


产品名称
半导体快速退火炉
产品介绍

RTP快速退火炉采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品?英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到好的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退?RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起重要作用、br/>

RTP快速退火炉产品技术参?/span>

型号 RTP-3-01系列
最高温?/span> 1200ℂ/span>
最大升温速率 50?s
温度均匀?/span> ?%设定温度
温度控制 选用工业级温控器,控温精度?.1ℂ/span>
温度传感?/span> 标准K型热电偶
最大降温速率

1200℃→400℃,200?min

400℃→100℃,20?min

(自然冷却)

最大样品尺寷/span> W20 x L20 x T2 (mm)
主机尺寸 W420X L320X H220 (mm)
主机重量 20.5kg
武汉嘉仪通科技有限公司
电话:点击&查看
联系亹 张先甞/span>
地址: 武汉市东湖开发区高新大道999号未来科技城C4?1屁/span>
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