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RTP快速退火炉
产品名称
半导体快速退火炉
产品介绍
RTP快速退火炉采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品?英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到好的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退?RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起重要作用、br/> RTP快速退火炉产品技术参?/span>
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