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1200度双温区滑竿式CVD系统
1200度双温区滑竿式CVD系统图片
型号: 1200
品牌: 博蕴通
产地: 南京
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型号: 1200
品牌: 博蕴通
产地: 南京
半岛bd体育手机客户端 介绍

主要技术参数

TL1200-1200滑动管式炉

型号

TL1200-1200-H-C-I

TL1200-1200-H-C-II

TL1200-1200-H-C-IIII

TL1200-1200-H-C-IV

功率

3KW

3KW

4KW

4KW

炉管尺寸

Dia60(OD)X1500mm

Dia80(OD)X1500mm

Dia100(OD)X1500mm

Dia120(OD)X1500mm

外形尺(LXDXH)

1500X450X600

1500X450X600

1500X510X650

1500X510X650

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

进口瑞典Canthal A1 电阻丝

控制方式

采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

温区一:1200 ℃ 温区二:1200 ℃

额定温度

温区一:1100 ℃ 温区二:1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

温区一:K 型 温区二:K 型

加热段长度

温区一:200mm 温区二:200 mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

GX供气系统主要参数

流量控制和检测采用

D07-7C

质量流量计

标准量程

采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择量程和所通气体的类型)

最大工作压力

3MP

准确度

±1.5%

气压降

<0.01mpa< p="">

重复精度

±0.2% F.S

路数

1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格

静态混气室

Dia50 X 400MM

接口

Dia6 1/4”

VS-0.1抽气系统

电源

220V

尺寸

600X600X600

波纹管

KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

10-1Pa

真空挡板阀

KF25

VRD-8真空泵

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2Pa

进排气接口

KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

2.2L/S

电机功率

0.4KW

Perfeer ACP15

无油多级罗茨泵

(方案 二)

型号 ACP15
电源 AC100~240V 50/60HZ
功率 450W
抽、排气接口 KF25
重量 25KG
最大氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s
极限真空度 0.02 Torr
抽气速率 14 m3/h

电阻真空计

型号

ZDR-1

功率

25W

真空度测量范围

0.1-105Pa

电阻硅

ZJ-52T

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空

(选购)

型号

PCG554

输入电压

24V 1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

半岛bd体育手机客户端 尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

分子泵型号

FJ620

输入电压

380V

分子泵进气口法兰

DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

水冷

冷却水压(MPa)

0.1-0.2

冷却水温度

<25℃< p="">

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa< p="">

前机真空泵RVP-6

(方案一)

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10-2Pa

德国Pfeiffer真空

(方案二)

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

电源

220V 55W

控制精度

± 1%

真空计测量范围

10-5-105Pa

质保期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚

7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件

详细描述

TL1200-1200-H双温区4通道滑竿式CVD系统由 4路供气系统+TL1200-1200双温区滑动管式炉+抽气系统组成! 滑动式CVD系统是在双温区管式炉炉底安装一对滑轨,可用手滑动。可以达到快速升降温的目的,为取得最快加热速率,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品区。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。物料可以在真空或者惰性气体环境下的升温速率或降温速率达到100℃/s,是低成本快速热处理的理想炉子。

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

4、炉膛

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

6、认证

7、底脚

标准配置

描叙

数量

图片

TL1200-1200 双温区滑动管式炉

1 台

石英管60mm OD x 1500mm L

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 根

氧化铝炉塞

3个

高温手套

1 对

氧化铝坩埚

1 个

COM转USB接口

1 套

说明书

1 份

软件

1份

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