主要技术参数
TL1200-1200滑动管式炉 
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型号 |
TL1200-1200-H-C-I |
TL1200-1200-H-C-II |
TL1200-1200-H-C-IIII |
TL1200-1200-H-C-IV |
功率 |
3KW |
3KW |
4KW |
4KW |
炉管尺寸 |
Dia60(OD)X1500mm |
Dia80(OD)X1500mm |
Dia100(OD)X1500mm |
Dia120(OD)X1500mm |
外形尺（LXDXH） |
1500X450X600 |
1500X450X600 |
1500X510X650 |
1500X510X650 |
电源电压 |
220V |
相数 |
单相 |
加热元件 |
进口瑞典Canthal A1 电阻丝 |
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）   
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） |
控温模式 |
智能PID |
断偶保护和显示 |
有 |
过温保护 |
有 |
过流保护 |
有 |
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
触发器 |
移相触发 |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
最高温度 |
温区一：1200 ℃ 温区二：1200 ℃ |
额定温度 |
温区一：1100 ℃ 温区二：1100 ℃ |
升温速率 |
≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
热电偶型号 |
温区一：K 型 温区二：K 型 |
加热段长度 |
温区一：200mm 温区二：200 mm |
电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
阀门和法兰 |
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GX供气系统主要参数 
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流量控制和检测采用 
D07-7C 质量流量计 |
标准量程 |
采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程和所通气体的类型） |
最大工作压力 |
3MP |
准确度 |
±1.5% |
气压降 |
<0.01mpa< p=""> |
重复精度 |
±0.2% F.S |
路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
系统工作压力范围 |
0.1～0.5 MPa |
工作温度 |
5-45℃ |
压力真空表表 |
-0.1～0.15MPa 0.01MPa/格 |
静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
接口 |
Dia6 1/4” |
VS-0.1抽气系统 
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电源 |
220V |
尺寸 |
600X600X600 |
波纹管 |
KF25X1000mm |
用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
真空挡板阀 |
KF25 |
VRD-8真空泵 |
型号 |
VRD-8 |
极限分压强 |
5X10-2Pa |
进排气接口 |
KF25 |
电机转速 |
1440RPM |
抽气速率 |
2.2L/S |
电机功率 |
0.4KW |
Perfeer ACP15 无油多级罗茨泵 （方案 二） |
型号 |
ACP15 |
| 电源 |
AC100～240V 50/60HZ |
| 功率 |
450W |
| 抽、排气接口 |
KF25 |
| 重量 |
25KG |
| 最大氦气漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
| 极限真空度 |
0.02 Torr |
| 抽气速率 |
14 m3/h |
电阻真空计 |
型号 |
ZDR-1 |
功率 |
25W |
真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
电阻硅 |
ZJ-52T |
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空 （选购） 
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型号 |
PCG554 |
输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
真空计接口 |
KF16 |
数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
半岛bd体育手机客户端 尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
重量 |
5 lbs |
检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
是否防腐 |
防腐 |
响应时间 |
≤30ms |
测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
分子泵机组（选购） 
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机组输入电压 |
380V /220V |
波纹管 |
KF40X1000 |
真空挡板阀 |
KF40 |
机箱尺寸 |
600X600X600 |
分子泵 （方案一） |
分子泵型号 |
FJ620 |
输入电压 |
380V |
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
冷却水温度 |
<25℃< p=""> |
环境温度 |
0～40℃ |
建议启东压强 |
<100pa< p=""> |
前机真空泵RVP-6 （方案一） 
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功率 |
0.75KW |
电压 |
380V |
转速 |
1450rpm |
进气口径 |
KF25/KF40 |
前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
极限压强 |
4X10-2Pa |
德国Pfeiffer真空 （方案二） |
电压 |
220V |
功率 |
110W |
抽气接口 |
KF40 |
重量 |
150KG |
前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
抽气速率（N2） |
33L/S |
复合真空计 
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复合真空计型号 |
ZDF |
电源 |
220V 55W |
控制精度 |
± 1% |
真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
质保期
一年保修，终身技术支持
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件
详细描述
TL1200-1200-H双温区4通道滑竿式CVD系统由 4路供气系统+TL1200-1200双温区滑动管式炉+抽气系统组成！ 滑动式CVD系统是在双温区管式炉炉底安装一对滑轨，可用手滑动。可以达到快速升降温的目的，为取得最快加热速率，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品区。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。物料可以在真空或者惰性气体环境下的升温速率或降温速率达到100℃/s，是低成本快速热处理的理想炉子。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
7、底脚
标准配置
描叙 |
数量 |
图片 |
TL1200-1200 双温区滑动管式炉 |
1 台 |
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石英管60mm OD x 1500mm L |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1 套 |
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不锈钢炉钩 |
1 根 |
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氧化铝炉塞 |
3个 |
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高温手套 |
1 对 |
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氧化铝坩埚 |
1 个 |
|
COM转USB接口 |
1 套 |
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说明书 |
1 份 |
|
软件 |
1份 |
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