详细技术参数
TL1200-1200 双温区管式炉 |
型号 |
TL1200-1200-C-I |
TL1200-1200-C-II |
TL1200-1200-C-III |
TL1200-1200-C-IV |
功率 |
3.6KW |
3.6KW |
3.6KW |
5.2KW |
炉管尺寸 |
高纯石英管:60/80/100/150*1000mm(管径可选) 两边各放置一个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置 |
外形尺(LXDXH) |
1100X370X540 |
1100X370X540 |
1100X420X590 |
1100X420X590 |
电源电压 |
220V |
相数 |
单相 |
加热元件 |
国产优质电阻丝(可选配进口瑞典Canthal A1 电阻丝) |
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换进口仪表,需要另外付费,选购) FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 (日本岛电) |
控温模式 |
智能PID |
断偶保护和显示 |
有 |
过温保护 |
有 |
过流保护 |
有 |
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
触发器 |
移相触发 |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
最高温度 |
温区一:1200 ℃ 温区二:1200 ℃ |
额定温度 |
温区一:1100 ℃ 温区二:1100 ℃ |
升温速率 |
≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) |
推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
热电偶型号 |
温区一:K 型 温区二:K 型 |
加热段长度 |
温区一:200mm 温区二:200 mm |
温度校准(选配) |
定期对管式炉进行温度校准,可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括标准热电偶,温度校准仪,补偿导线 |
电器认证 |
|
四周表面温度 |
≤45℃ |
阀门和法兰 |
|
GX供气系统主要参数 |
质量流量计 |
量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) |
耐压 |
3MP |
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
最大工作(使用)压力 |
0.3MPa |
线性 |
±0.5%F.S. |
重复精度 |
±0.2% F.S |
路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) |
接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
工作温度 |
5-45℃ |
压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
接口 |
Dia6 / 1/4” |
VS-0.1抽气系统 方案一或方案二任选一个 |
电源 |
220V |
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
波纹管 |
KF25X1000mm |
用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
真空挡板阀 |
KF25 |
VRD-8真空泵 方案一 |
型号 |
VRD-8 |
极限分压强 |
5X10-2Pa |
进排气接口 |
KF25 |
电机转速 |
1440RPM |
抽气速率 |
2.2L/S |
电机功率 |
0.4KW |
Preiffer ACP15 无油多级罗茨泵 方案二 |
型号 |
ACP15 |
电源 |
AC100-240 50/60HZ |
功率 |
450W |
重量 |
25KG |
最高氦气漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
抽气速率 |
14 m3/h |
极限压强 |
0.02Torr |
进、排气接口 |
KF25 |
电阻真空计 (方案一) |
型号 |
ZDR-1 |
功率 |
25W |
真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
电阻硅 |
ZJ-52T |
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计 (方案二)
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型号 |
PCG554 |
输入电压 |
24V 1A DC(配有220V变压器) |
真空计接口 |
KF16 |
数字显示 |
数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr |
半岛bd体育手机客户端 尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
重量 |
5 lbs |
检测气体 |
可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 |
是否防腐 |
防腐 |
响应时间 |
≤30ms |
测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
分子泵机组(选购) (方案一或方案二任选一个) |
机组输入电压 |
380V /220V |
波纹管 |
KF40X1000 |
真空挡板阀 |
KF40 |
机箱尺寸 |
600X600X600 |
分子泵 (方案一) |
分子泵型号 |
FJ620 |
输入电压 |
380V |
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
分子泵抽气速率L/S(对空气) |
600 |
分子泵极限压强(Pa) |
6×10-7 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水压(MPa) |
0.1-0.2 |
冷却水温度 |
<25℃ |
环境温度 |
0~40℃ |
建议启东压强 |
<100pa |
分子泵前级真空泵TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) (方案二)
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功率 |
0.75KW |
电压 |
380V |
转速 |
1450rpm |
进气口径 |
KF25/KF40 |
前机泵抽气速率(L/S) |
6 |
极限压强 |
4X10-2Pa |
德国Pfeiffer真空泵 (方案二) |
电压 |
220V |
功率 |
110W |
抽气接口 |
KF40 |
重量 |
150KG |
前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
抽气速率(N2) |
33L/S |
复合真空计 |
复合真空计型号 |
ZDF |
电源 |
220V 55W |
控制精度 |
± 1% |
真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
保修期
一年保修,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
详细描述
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由4路供气系统+TL1200-1200双温区管式炉+真空系统组成
1、电阻丝炉膛
(1)、使用真空吸附成型工艺,将加热元件嵌入固定在耐火材料内,是集发热和隔热的为一体的电热模块单元
(2)、使用温度高达1250度,具有**的加热效果和热稳定性
(3)、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场
(4)、采用4周加热,温场更加均衡
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
电阻均匀 、 发热量均衡
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
5、不锈钢支撑架
6、认证
7、法兰
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
标准配置
描叙 |
数量 |
图片 |
TL1200-1200 双温区管式炉 |
1 台 |
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石英管60/80/100/150mm OD x 1000mm L |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1 套 |
|
不锈钢炉钩 |
1 根 |
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氧化铝炉塞 |
1对 |
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高温手套 |
1 对 |
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氧化铝坩埚 |
1 个 |
|
COM转USB接口 |
1 套 |
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说明书 |
1 份 |
|
软件 |
1份 |
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