试剂 半岛游戏平台官网入口网址 设备 原料
普通会员第 3
访问量: 304498 网址:njbytyq.cnreagent.com 在线留言
半岛bd体育手机客户端 搜索
其它行业专用半岛游戏平台官网入口网址 /仪表 >> 化学气相沉积系统(CVD)
1200度双温区PECVD系统
1200度双温区PECVD系统图片
型号: 1200
品牌: 博蕴通
产地: 南京
索取资料及报价
型号: 1200
品牌: 博蕴通
产地: 南京
半岛bd体育手机客户端 介绍

详细技术参数

TL1200-1200 管式炉

型号

TL1200-1200-PECVD-I

TL1200-1200-PECVD-II

TL1200-1200-PECVD-III

TL1200-1200-PECVD-IV

功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

炉管尺寸

Dia 60(OD) X1200mm

Dia 80(OD) X1200mm

Dia 100(OD) X1200mm

Dia 150(OD) X1200mm

外形尺寸(LXDXH)

1200X410X610

1200X410X610

1200X460X660

1200X460X660

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

进口瑞典Canthal A1 电阻丝

控制方式

采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

温区一:1200 ℃ 温区二:1200 ℃

额定温度

温区一:1100 ℃ 温区二:1100 ℃

升温速率

≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤10℃/ Min

热电偶型号

温区一:K 型 温区二:K 型

加热段长度

温区一:205mm 温区二:205 mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

阀门和法兰

射频电源

(等离子体发生器)

功率输出范围

0-500W

最大反射功率

200W

工作频率

射频:13.56MHZ±0.005%

功率稳定度

+/-0.1%

谐波分量

≤-50dbc

射频区域宽度

0-600mm 可调

匹配方式

自动

冷却方式

分冷

噪声

<50dB

射频接口

50Ω N-type

输入电源

208-240V 50/60HZ

GX供气系统主要参数

质量流量计

量程和气体

5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

5-45℃

压力真空表表

-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格

静态混气室

Dia50 X 400MM

接口

Dia6 / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

电源

220V

尺寸

650X650X600 / 650X650X300

波纹管

KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

10-1Pa

真空挡板阀

KF25

VRD-8真空泵

方案一

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2Pa

进排气接口

KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

方案二

型号 ACP15
电源 AC100-240 50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s
抽气速率 14 m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

型号

ZDR-1

功率

25W

真空度测量范围

0.1-105Pa

电阻硅

ZJ-52T

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计

(方案二)

型号

PCG554

输入电压

24V 1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

半岛bd体育手机客户端 尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

分子泵型号

FJ620

输入电压

380V

分子泵进气口法兰

DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

水冷

冷却水压(MPa)

0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10-2Pa

德国Pfeiffer真空泵

(方案二)

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

电源

220V 55W

控制精度

± 1%

真空计测量范围

10-5-105Pa

保修期

一年保修,终身技术支持

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa

3.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

详细描述

TL1200-1200 PECVD系统,由TL1200真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

主要特点:

1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

这款TL1200-1200 PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

4、炉膛

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

6、认证

7、法兰

铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)

标准配置

TL1200-1200双温区PECVD系统标配

描叙

数量

图片

TL1200-1200管式炉

1 套

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

法兰支撑架

1 份

供气系统

1台
VS-0.1抽气系统 1台
射频电源 1台

卡套 4个
波纹管 1支
真空挡板阀 1个
钢瓶接头(N代表路数) N个
阀门接头 2个
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5
相关半岛bd体育手机客户端
我要咨询 关闭
  • 姓名*
  • 电话*
  • 单位*
  • email
  • 留言内容*
  • 验证码*
  • 让更多商家关注
  • Baidu
    map