详细技术参数
VTL1200 立式管式炉 |
型号 |
VTL1200-PECVD-I |
VTL1200-PECVD-II |
VTL1200-PECVD-III |
功率 |
3.5KW |
3.5KW |
3.5KW |
炉管尺寸 |
Dia 60(OD) X1200mm |
Dia 80(OD) X1200mm |
Dia 100(OD) X1200mm |
电源电压 |
220V |
相数 |
单相 |
加热元件 |
国产优质电阻丝(可选配瑞典Kanthal A1进口电阻丝) |
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时, 主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_895851_pro_auto_1049011.jpg)
(更换进口仪表,需要另外付费,选购) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_527723_pro_auto_1049011.png) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_972849_pro_auto_1049011.jpg) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_333944_pro_auto_1049011.jpg)
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 (日本岛电) |
控温模式 |
智能PID |
断偶保护和显示 |
有 |
过温保护 |
有 |
过流保护 |
有 |
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
触发器 |
移相触发 |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
最高温度 |
1200 ℃ |
额定温度 |
1100 ℃ |
升温速率 |
≤20 ℃/ Min (可根据要求修改) |
推荐升温速率 |
≤10℃/ Min |
热电偶型号 |
K 型 |
加热段长度 |
200mm |
电器认证 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_491814_pro_auto_1049011.jpg)
|
四周表面温度 |
≤45℃ |
炉塞、材料放置 |
炉塞、材料放置图片 |
射频电源 (等离子体发生器) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_664586_pro_auto_1049011.jpg)
|
功率输出范围 |
0-500W |
|
最大反射功率 |
200W |
工作频率 |
射频:13.56MHZ±0.005% |
功率稳定度 |
+/-0.1% |
谐波分量 |
≤-50dbc |
射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
匹配方式 |
自动 |
冷却方式 |
分冷 |
噪声 |
<50dB |
射频接口 |
50Ω N-type |
输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
GX供气系统主要参数 ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_755798_pro_auto_1049011.jpg)
|
质量流量计 ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_332709_pro_auto_1049011.jpg)
|
量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) |
耐压 |
3MP |
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
最大工作(使用)压力 |
0.3MPa |
线性 |
±0.5%F.S. |
重复精度 |
±0.2% F.S |
路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路) |
接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
工作温度 |
5-45℃ |
压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
接口 |
Dia6 / 1/4” |
VS-0.1抽气系统 ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_471813_pro_auto_1049011.jpg)
方案一或方案二任选一个 |
电源 |
220V |
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
波纹管 |
KF25X1000mm |
用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
真空挡板阀 |
KF25 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_552996_pro_auto_1049011.jpg)
VRD-8真空泵 (方案一) |
型号 |
VRD-8 |
极限分压强 |
5X10-2Pa |
进排气接口 |
KF25 |
电机转速 |
1440RPM |
抽气速率 |
2.2L/S |
电机功率 |
0.4KW |
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵
方案二 |
型号 |
ACP15 |
电源 |
AC100-240 50/60HZ |
功率 |
450W |
重量 |
25KG |
最高氦气漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
抽气速率 |
14 m3/h |
极限压强 |
0.02Torr |
进、排气接口 |
KF25 |
电阻真空计![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_168218_pro_auto_1049011.jpg) (方案一) |
型号 |
ZDR-1 |
功率 |
25W |
真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
电阻硅 |
ZJ-52T |
瑞典(INFICON) 皮拉尼陶瓷电容真空计 (方案二) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_299757_pro_auto_1049011.jpg)
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型号 |
PCG554 |
输入电压 |
24V 1A DC(配有220V变压器) |
真空计接口 |
KF16 |
数字显示 |
数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr |
半岛bd体育手机客户端 尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
重量 |
5 lbs |
检测气体 |
可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。 |
是否防腐 |
防腐 |
响应时间 |
≤30ms |
测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
分子泵机组(选购) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_409180_pro_auto_1049011.jpg)
(方案一或方案二任选一个) |
机组输入电压 |
380V /220V |
波纹管 |
KF40X1000 |
真空挡板阀 |
KF40 |
机箱尺寸 |
600X600X600 |
分子泵![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_508723_pro_auto_1049011.jpg) (方案一) |
分子泵型号 |
FJ620 |
输入电压 |
380V |
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
分子泵抽气速率L/S(对空气) |
600 |
分子泵极限压强(Pa) |
6×10-7 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水压(MPa) |
0.1-0.2 |
冷却水温度 |
<25℃ |
环境温度 |
0~40℃ |
建议启东压强 |
<100pa |
分子泵前级真空泵TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) (方案二) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_641159_pro_auto_1049011.jpg)
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功率 |
0.75KW |
电压 |
380V |
转速 |
1450rpm |
进气口径 |
KF25/KF40 |
前机泵抽气速率(L/S) |
6 |
极限压强 |
4X10-2Pa |
德国Pfeiffer真空泵 (方案二)![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_759868_pro_auto_1049011.jpg) |
电压 |
220V |
功率 |
110W |
抽气接口 |
KF40 |
重量 |
150KG |
前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
抽气速率(N2) |
33L/S |
复合真空计 ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_884969_pro_auto_1049011.jpg)
|
复合真空计型号 |
ZDF |
电源 |
220V 55W |
控制精度 |
± 1% |
真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
质保期
一年保修,终身技术支持
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击
5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
详细描述
VTL1200-PECVD系统,由VTL1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款VTL1200-PECVD系统以电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、价格优惠等优点。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_390266_pro_auto_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_660074_pro_auto_1049011.jpg)
Kanthal A1 原丝 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_105796_pro_auto_1049011.jpg)
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_349501_pro_auto_1049011.jpg)
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_645761_pro_auto_1049011.png)
4、炉膛
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_149109_pro_auto_1049011.jpg)
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_464138_pro_auto_1049011.jpg)
6、认证
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_616808_pro_auto_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/26/203157_243338_gsjiben_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_980871_pro_auto_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_042737_pro_auto_1049011.jpg)
7、法兰
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_271283_pro_auto_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_463903_pro_auto_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_778273_pro_auto_1049011.jpg)
铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_973260_pro_auto_1049011.jpg)
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_221053_pro_auto_1049011.jpg)
8、全图
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_235492_pro_auto_1049011.jpg)
标准配置
VTL1200-PECVD系统标配
描叙 |
数量 |
图片 |
VTL1200管式炉 |
1 套 |
|
石英管 |
1根 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_332685_pro_auto_1049011.jpg)
|
不锈钢法兰 |
1 套 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_961669_pro_auto_1049011.jpg) ![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_144541_pro_auto_1049011.jpg)
|
不锈钢炉钩 |
1 个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_203545_pro_auto_1049011.jpg)
|
氧化铝炉塞 |
1对 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_275637_pro_auto_1049011.jpg)
|
高温手套 |
1 双 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_355610_pro_auto_1049011.jpg)
|
氧化铝坩埚 |
1 个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_663515_pro_auto_1049011.jpg)
|
K型热电偶 |
1 个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_731473_pro_auto_1049011.jpg) |
485转换接口和软件(选配) |
1 套 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_795451_pro_auto_1049011.jpg)
|
说明书 |
1本 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_914897_pro_auto_1049011.jpg)
|
法兰支撑架 |
1 份 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_079734_pro_auto_1049011.jpg)
|
供气系统 |
1台 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_217656_pro_auto_1049011.jpg) |
VS-0.1抽气系统 |
1台 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_425479_pro_auto_1049011.jpg) |
射频电源 |
1台 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_664586_pro_auto_1049011.jpg)
|
卡套 |
4个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_579985_pro_auto_1049011.jpg) |
波纹管 |
1支 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_711173_pro_auto_1049011.jpg) |
真空挡板阀 |
1个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_942750_pro_auto_1049011.png) |
钢瓶接头(N代表路数) |
N个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_515694_pro_auto_1049011.png) |
阀门接头 |
2个 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_515193_pro_auto_1049011.png) |
聚四氟乙烯管(N代表路数) |
NX5 |
![](//www.vuestras.com/data/daily/2021/11/25/154246_449379_pro_auto_1049011.jpg) |