主要技术参数
TL1200双管管式炉 |
型号 |
TL1200-D-C-I |
TL1200-D-C-II |
功率 |
3.5KW |
3.5KW |
外管尺寸(mm) |
Dia 80(ID73）X1500 |
Dia 100(ID93) X1500 |
内管尺寸（mm） |
Dia 60(ID53）X1700 |
Dia 80(ID73）X1700 |
外形尺（LXDXH） |
1600X490X600 |
1600X490X600 |
电源电压 |
220V |
相数 |
单相 |
加热元件 |
进口瑞典Canthal A1 电阻丝 |
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）   
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） |
控温模式 |
智能PID |
断偶保护和显示 |
有 |
过温保护 |
有 |
过流保护 |
有 |
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
触发器 |
移相触发 |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
最高温度 |
1200 ℃ |
额定温度 |
1100 ℃ |
升温速率 |
≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
热电偶型号 |
K 型 |
加热段长度 |
400mm |
电器认证 |
|
四周表面温度 |
≤45℃ |
GX供气系统主要参数 
|
流量控制和检测采用 
D07-7C 质量流量计 |
量程和气体 |
采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程和所通气体的类型） |
耐压 |
3MP |
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
最大工作（使用）压力 |
0.3MPa |
线性 |
±0.5%F.S. |
重复精度 |
±0.2% F.S |
路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
系统工作压力范围 |
0.1～0.5 MPa |
工作温度 |
5-45℃ |
压力真空表表 |
-0.1～0.15MPa 0.01MPa/格 |
静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
接口 |
Dia6 1/4” |
VS-0.1抽气系统 
|
电源 |
220V |
尺寸 |
600X600X600 |
波纹管 |
KF25X1000mm |
用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
真空挡板阀 |
KF25 |
VRD-8真空泵 |
型号 |
VRD-8 |
极限分压强 |
5X10-2Pa |
进排气接口 |
KF25 |
电机转速 |
1440RPM |
抽气速率 |
2.2L/S |
电机功率 |
0.4KW |
 Perfeer ACP15无油多级罗茨泵
（方案二） |
型号 |
ACP15 |
| 电源 |
AC100～240V 50/60HZ |
| 功率 |
450W |
| 抽、排气接口 |
KF25 |
| 重量 |
25KG |
| 最大氦气漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
| 极限真空度 |
0.02 Torr |
| 抽气速率 |
14 m3/h |
电阻真空计 |
型号 |
ZDR-1 |
功率 |
25W |
真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
电阻硅 |
ZJ-52T |
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计 （选购） 
|
型号 |
PCG554 |
输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
真空计接口 |
KF16 |
数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
半岛bd体育手机客户端 尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
重量 |
5 lbs |
检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
是否防腐 |
防腐 |
响应时间 |
≤30ms |
测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
分子泵机组（选购）
|
机组输入电压 |
380V /220V |
波纹管 |
KF40X1000 |
真空挡板阀 |
KF40 |
机箱尺寸 |
600X600X600 |
分子泵 （方案一） |
分子泵型号 |
FJ620 |
输入电压 |
380V |
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
冷却水温度 |
<25℃< p=""> |
环境温度 |
0～40℃ |
建议启东压强 |
<100pa< p=""> |
前机真空泵RVP-6 （方案一） 
|
功率 |
0.75KW |
电压 |
380V |
转速 |
1450rpm |
进气口径 |
KF25/KF40 |
前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
极限压强 |
4X10-2Pa |
德国Pfeiffer真空泵（方案二） |
电压 |
220V |
功率 |
110W |
抽气接口 |
KF40 |
重量 |
150KG |
前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
抽气速率（N2） |
33L/S |
复合真空计 
|
复合真空计型号 |
ZDF |
电源 |
220V 55W |
控制精度 |
± 1% |
真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
详细描述
CVD系统 由供气系统+双管管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200双管管式炉+低真空系统组成
双管管式炉不同于普通的管式炉，他是由双管组成、衬底包覆在内管上、形成一个环状，这样能够大大的提高CVD生长的面积。
滑动式双管炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔（像铜箔、铝箔等）上生长薄膜而设计，广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。这款双管式炉以进口电阻丝康泰尔（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
双管管式炉炉底安装一对滑轨，可用手推滑动。加热和冷却速率最大可达100℃/min。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/s，是低成本快速热处理的理想炉子。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
、
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
可调真空：通过调节真空挡板阀阀门开关和用微电脑调节真空泵电机的转速来实现双管管式炉内真空度在10-10000Pa之间某一范围内恒定。
标准配置
双管CVD系统标准配件
描叙 |
数量 |
图片 |
TL1200双管管式炉 |
1 套 |
|
石英管（内外石英管） |
各1根 |
|
双管不锈钢法兰 |
1 套 |
 
右法兰 左法兰 |
不锈钢炉钩 |
1 个 |
|
氧化铝炉塞 |
1对 |
|
高温手套 |
1 双 |
|
氧化铝坩埚 |
1 个 |
|
| Ｋ型热电偶 |
1个 |
 |
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
|
说明书 |
1本 |
|
法兰支撑架 |
1 份 |
|
供气系统 |
1台 |
 |
| 抽气系统 |
1台 |
 |
| 卡套 |
4个 |
 |
| 波纹管 |
1支 |
 |
| 真空挡板阀 |
1个 |
 |
| 钢瓶接头（N代表路数） |
N个 |
 |
| 阀门接头 |
2 |
 |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) |
NX5 |
|
Perfeer ACP15无油多级罗茨泵
（方案一）
