详细技术参数
TL1200 管式炉 |
型号 |
TL1200-H-I |
TL1200-H-II |
TL1200-H-III |
TL1200-H-IV |
功率 |
3.5KW |
3.5KW |
3.5KW |
5KW |
| 炉管尺寸 |
高纯石英管:60/80/100/150*1000mm(管径可选） 两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置 
|
外形尺（LXDXH） |
1700X800X1500 |
1700X800X1500 |
1700X800X1500 |
1700X800X1500 |
电源电压 |
220V |
相数 |
单相 |
加热元件 |
国产优质电阻丝 （可选配瑞典 Kanthal A1进口电阻丝） |
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）   
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） |
控温模式 |
智能PID |
断偶保护和显示 |
有 |
过温保护 |
有 |
过流保护 |
有 |
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
触发器 |
移相触发 |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
最高温度 |
1200 ℃ |
额定温度 |
1100 ℃ |
升温速率 |
≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
热电偶型号 |
K 型 |
加热段长度 |
440mm |
恒温区 |
150mm |
温场曲线 |
|
温度校准（选配） |
定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线   
|
电器认证 |
|
四周表面温度 |
≤45℃ |
阀门和法兰 |
|
防爆系统 
|
防爆系统由压力传感器和防爆阀组成， 压力传感器，可在压力控制表上设置报警压力，当炉管内压力大于等于设定的报警压力时，防爆电磁阀会自动启动，并放出炉管内多余的气体。 防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成，无论是真空还是气氛下都可以关的很好，不漏气，不回流。  
|
氢气探测器 
|
氢气气体探测器是一种通过进口催化燃烧式传感器，可以对氢气的易燃易爆性进行检测的安全半岛游戏平台官网入口网址 。具有防爆、防尘的特点，可广泛适用于石油、化工、冶金、煤矿等存储、使用与贮存氢气的场所。 |
GX供气系统主要参数 
|
质量流量计 
|
量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
耐压 |
3MP |
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
最大工作（使用）压力 |
0.3MPa |
线性 |
±0.5%F.S. |
重复精度 |
±0.2% F.S |
路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
系统工作压力范围 |
0.1～0.5 MPa |
工作温度 |
5-45℃ |
压力真空表表 |
-0.1～0.15MPa 0.01MPa/格 |
静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
接口 |
Dia6 / 1/4” |
VS-0.1抽气系统 
方案一或方案二任选一个 |
电源 |
220V |
尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
波纹管 |
KF25X1000mm |
用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
真空挡板阀 |
KF25 |
VRD-8真空泵 （方案一） |
型号 |
VRD-8 |
极限分压强 |
5X10-2Pa |
进排气接口 |
KF25 |
电机转速 |
1440RPM |
抽气速率 |
2.2L/S |
电机功率 |
0.4KW |
Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 （方案二） |
型号 |
ACP15 |
| 电源 |
AC100-240 50/60HZ |
| 功率 |
450W |
| 重量 |
25KG |
| 最高氦气漏率 |
5 · 10-8 Pa m3/s |
| 抽气速率 |
14 m3/h |
| 极限压强 |
0.02Torr |
| 进、排气接口 |
KF25 |
电阻真空计 （方案一） |
型号 |
ZDR-1 |
功率 |
25W |
真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
电阻硅 |
ZJ-52T |
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计 （方案二）
 |
型号 |
PCG554 |
输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
真空计接口 |
KF16 |
数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
半岛bd体育手机客户端 尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
重量 |
5 lbs |
检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
是否防腐 |
防腐 |
响应时间 |
≤30ms |
测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
分子泵机组（选购） 
（方案一或方案二任选一个） |
机组输入电压 |
380V /220V |
波纹管 |
KF40X1000 |
真空挡板阀 |
KF40 |
机箱尺寸 |
600X600X600 |
分子泵 （方案一） |
分子泵型号 |
FJ620 |
输入电压 |
380V |
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
冷却水温度 |
<25℃ |
环境温度 |
0～40℃ |
建议启动压强 |
<100pa |
分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二） 
|
功率 |
0.75KW |
电压 |
380V |
转速 |
1450rpm |
进气口径 |
KF25/KF40 |
前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
极限压强 |
4X10-2Pa |
德国Pfeiffer真空泵 （方案二） |
电压 |
220V |
功率 |
110W |
抽气接口 |
KF40 |
重量 |
150KG |
前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
抽气速率（N2） |
33L/S |
复合真空计 
|
复合真空计型号 |
ZDF |
电源 |
220V 55W |
控制精度 |
± 1% |
真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
质保期
一年保修，终身技术支持
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
4.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
详细描述
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200氢气管式炉+低真空系统组成
这款管式炉以进口电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想半岛bd体育手机客户端 。
康泰尔电阻丝资料下载
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 进口电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、不锈钢支撑架
7、认证
8、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
标准配置
TL1200-CVD系统标配
描叙 |
数量 |
图片 |
TL1200管式炉 |
1 套 |
|
石英管 |
1根 |
|
不锈钢法兰 |
1 套 |
|
不锈钢炉钩 |
1 个 |
|
氧化铝炉塞 |
1对 |
|
高温手套 |
1 双 |
|
氧化铝坩埚 |
1个 |
|
| Ｋ型热电偶 |
1个 |
 |
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
|
说明书 |
1本 |
|
法兰支撑架 |
1 份 |
|
供气系统 |
1台 |
 |
| VS-0.1抽气系统 |
1台 |
|
| 卡套 |
4个 |
 |
| 波纹管 |
1支 |
 |
| 真空挡板阀 |
1个 |
 |
| 钢瓶接头（N代表路数） |
N个 |
 |
| 阀门接头 |
2 |
 |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) |
NX5 |
 |
