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XP-703DⅢ半导体材料气体检测仪
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介绍 检测对象 H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3检测浓度 1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm检测原理 热线型半导体式采样方式 自动吸引式应用行业 半导体制造半岛bd体育手机客户端 描述:半导体材料气体检测 可检测微量的半导体材料气体泄漏,可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测, 也可对氢气相关设备提供安全保障。 01.半岛bd体育手机客户端 特点 ·小型·轻量 ·可以检查非常微量的气体泄漏 ·适合氢气相关设备的安全防护 ·搭载的泵有自动停止功能 ·搭载[自动气体排气模式]功能 ·保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时 02.半岛bd体育手机客户端 用途 ·半导体工厂/石油化学工厂等 ·在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测 03.半岛bd体育手机客户端 参数 |
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