瀵逛换浣曚华鍣ㄧ殑鏍″噯搴︽槸涓轰簡浣垮叾鑳藉鏇寸簿鍑嗗湴宸ヤ綔锛岀传澶栧垎鍏夊厜搴﹁鏄竴绉嶅熀浜庣传澶栧彲瑙佸垎鍏夊厜搴︽硶鍘熺悊锛屽埄鐢ㄧ墿璐ㄥ垎瀛愬绱鍙鍏夎氨鍖虹殑杈愬皠鍚告敹鏉ヨ繘琛屽垎鏋愮殑涓€绉嶅垎鏋愪华鍣紝瀹冪殑鏍″噯宸ヤ綔鏇磋绗﹀悎涓€瀹氱殑瑙勮寖鎵嶈銆侟/p>

1銆佹牎鍑嗗墠锛屽簲浣跨传澶栧垎鍏夊厜搴﹁寮€鏈洪鐑冻澶熸椂闂村畨绋冲悗杩涜锛屼竴鑸嚦灏?0min鍚庤繘琛屻€侟/p>

2銆侀€夌敤瑙勮寖鐗╄川鏃舵湁蹇呰娉ㄦ剰搴斿湪瑙勮寖鍊肩殑澶嶇幇鏉′欢(鍗宠鑼冪墿璐ㄨ鍒欑殑杩愮敤鏉′欢)涓嬭繘琛屾牎鍑嗭紝鍚﹀垯浼氫骇鐢熼敊璇殑鏍″噯缁撴灉銆備緥濡傦紝杩愮敤GBW(E)130066鍒嗗厜鍏夊害璁¤鑼冩憾娑茶繘琛屾牎鎸夋椂锛屾湁蹇呰婊¤冻涓や釜鏉′欢锛欬/p>

(1) 琚牎鍑嗕华鍣ㄧ殑鍏夎氨甯﹀搴旇鏄?nm锛岃嫢浠櫒鍏夎氨甯﹀涓嶈兘璋冪悊骞跺ぇ浜?nm锛屽垯瑙勮寖婧舵恫缁欏嚭鐨勫€间笉閫傜敤锛屽簲璇ラ€夌敤淇鍊硷紱

(2)鏍℃寜鏃舵墍閫夌敤鐨勪袱鍙煶鑻辨瘮鑹茬毧搴旇鏄唴寰?10卤0.2)mm锛屽苟涓斿湪235nm銆?57nm銆?13nm銆?50nm澶勶紝鍏锋湁寰堝ソ鐨勯厤瀵规€э紝杩欐牱鎵嶅共澶嶇幇瑙勮寖鍊笺€侟/p>

3銆佽繍鐢ㄨ鑼冩憾娑叉潵鏍℃寜鏃讹紝杩樻湁蹇呰鐗瑰埆娉ㄦ剰鏍″噯涓堥噺鏃剁殑瀹為獙瀹ゆ俯搴︼紝鍥犱负杩欎簺瑙勮寖鐗╄川鍦ㄤ笉鍚屾俯搴︿笅鏈変笉鍚岀殑閫忓皠姣旇鑼冨€笺€侟/p>

4銆佽鑼冪敤鐨勮鑼冪墿璐ㄦ湁蹇呰鍦ㄨ鏄庝功瑙勫垯鏉′欢涓嬩繚瀛橈紝渚嬪骞叉秹婊ゅ厜鐗囧簲璇ヤ繚鍦ㄦ灟鐕ユ磥鍑€鐨勭幆澧冧腑锛岄伩鍏嶈〃闈㈣姹℃煋銆佸彈娼紑鑳舵垨闇夊彉绛夈€備竴鍒囪鑼冪墿璐ㄥ潎搴斿湪璇佷功涓婃敞鏄庣殑鏈夋晥鏈熷唴杩愮敤銆侟/p>

5銆佺传澶栧垎鍏夊厜搴﹁閫夌敤鐨勪腑鎬ф护鍏夌墖瑙勮寖鍊肩殑涓嶇‘瀹氬害涓€瀹氳绗﹀悎浼犻€掕鑼冦€傛牎鎸夋椂锛岃娉ㄦ剰瑙勮寖婊ゅ厜鐗囩殑鏂瑰悜鎬с€侟/p>