鍒嗗厜鍏夊害璁＄殑鍩烘湰宸ヤ綔鍘熺悊鏄熀浜庣墿璐ㄥ鍏?瀵瑰厜鐨勬尝闀?鐨勫惛鏀跺叿鏈夐€夋嫨鎬э紝涓嶅悓鐨勭墿璐ㄩ兘鏈夊悇鑷殑鍚告敹鍏夊甫锛屾墍浠ワ紝褰撳厜鑹叉暎鍚庣殑鍏夎氨閫氳繃鏌愪竴婧舵恫鏃讹紝鍏朵腑鏌愪簺娉㈤暱鐨勫厜绾垮氨浼氳婧舵恫鍚告敹銆傚湪涓€瀹氱殑娉㈤暱涓嬶紝婧舵恫涓墿璐ㄧ殑娴撳害涓庡厜鑳介噺鍑忓急鐨勭▼搴︽湁涓€瀹氱殑姣斾緥鍏崇郴锛屽嵆绗﹀悎姣斿皵瀹氬緥銆侟/p>

鍒嗗厜鍏夊害璁＄绫荤箒澶氾紝浣嗕笉澶栦箮绠€鏄撳瀷銆佷腑妗ｅ瀷鍜屽瀷涓夊ぇ绫汇€傛垜浠湪閫夌敤鍒嗗厜鍏夊害璁℃椂闇€瑕佽€冭檻浠ヤ笅鍑犱釜鏂归潰锛欬/p>

1銆佹尝闀挎娴嬭寖鍥达紝娉㈤暱閫夋嫨鏂瑰紡

瓒婄殑浠櫒娉㈤暱妫€娴嬭寖鍥磋秺瀹斤紝褰撶劧浠锋牸涔熻緝楂橈紝鐢ㄦ埛闇€瑕佹牴鎹嚜宸辩殑闇€姹傞€夋嫨鍚堥€傜殑娉㈤暱鑼冨洿锛涘浜庣畝鍗曞瀷鐨勪华鍣紝娉㈤暱閫夋嫨鏂瑰紡涓€鑸槸鎵嬪姩鏌ユ壘锛岃繖绉嶆柟寮忕殑閲嶅鎬ц緝宸紝鍨嬬殑浠櫒涓尝闀垮彲浠ユ寜鐓ц瀹氭ā寮忚嚜鍔ㄦ煡鎵炬垨鎵弿锛屽叾娆″瀷鐨勬尝闀挎壂鎻忛€熷害鐨勬。浣嶄篃浼氬鍔犮€侟/p>

2銆佸厜鏉烖/p>

鍏夋潫绫诲瀷鍒嗕负鍗曞厜鏉熷瀷锛屽弻鍏夋潫鍨嬫垨鍑嗗弻鍏夋潫鍨嬨€傚崟鍏夋潫涓€鑸€備簬鍦ㄧ粰瀹氭尝闀垮娴嬮噺鍚稿厜搴︼紝涓嶈兘浣滃叏娉㈡鍏夎氨鎵弿锛屽苟涓旇姹傚厜婧愬拰妫€娴嬪櫒鍏锋湁寰堥珮鐨勭ǔ瀹氭€э紱鍙屽厜鏉熷彲浠ヨ嚜鍔ㄨ褰曪紝蹇€熷叏娉㈡鎵弿銆傚彲娑堥櫎鍏夋簮涓嶇ǔ瀹氥€佹娴嬪櫒鐏垫晱搴﹀彉鍖栫瓑鍥犵礌鐨勫奖鍝嶏紝鐗瑰埆閫傚悎浜庣粨鏋勫垎鏋愶紱鍋囧弻鍏夋潫涔熷氨鏄瘮渚嬪弻鍏夋潫锛屼紭鐐规槸鍙互鐩戞祴鍏夋簮鍙樺寲甯︽潵鐨勮宸紝瀹冪殑鍘熺悊鏄敱鍚屼竴鍗曡壊鍣ㄥ彂鍑虹殑鍏夎鍒嗘垚涓ゆ潫锛屼竴鏉熺洿鎺ュ埌杈炬娴嬪櫒锛屽彟涓€鏉熼€氳繃鏍峰搧鍚庡埌杈惧彟涓€涓娴嬪櫒銆備絾鏄繖绉嶆柟寮忓苟涓嶈兘娑堥櫎鍙傛瘮閫犳垚鐨勫奖鍝嶃€侟/p>

3銆佸厜婧忺/p>

鍙鍏夊尯涓昏鐢ㄩ挩鐏紝鍗ら挩(320锝?500nm)锛涚传澶栧尯涓昏鐢ㄦ阿鐏紝姘樼伅(180锝?75nm)锛涙皺鐏湪绱鍜屽彲瑙佸厜鍖哄潎鍙敤浣滃厜婧愩€侟/p>

4銆佹牱鍝佹敮鏋迭/p>

绠€鍗曠殑鏍峰搧鏀灦涓烘帹鎷夊紡鍥涜仈姹犳灦锛屼竴娆″彧鑳芥祴閲忎竴涓牱鍝侊紝鍙傛瘮鍜屾牱鍝佸垎涓ゆ娴嬮噺锛涘瀷鐨勬牱鍝佹睜鏀灦涓轰袱涓浐瀹氬紡锛屽垎鍒槸鏍峰搧閫氶亾鍜屽弬姣旈€氶亾锛屽彲浠ュ悓鏃舵祴閲忓弬姣斿拰鏍峰搧鐨勫惛鍏夊€笺€侟/p>

5銆佺嫮缂滭/p>

绠€鏄撳瀷鐨勭嫮缂濅竴鑸槸鍥哄畾瀹藉害妯″紡锛岀嫮缂濆搴﹀鏁颁负2nm锛屼篃鏈?.5nm鐨勶紱鍨嬬殑浠櫒鐙紳鍧囦负杩炵画鍙皟鍨嬶紝鍙互閫傚簲楂樺垎杈ㄧ巼鐨勯渶瑕併€侟/p>

6銆佸厜瀛︽€ц兘鎸囨爣

鍏夊鎬ц兘鐨勯珮浣庣洿鎺ュ奖鍝嶅埌娴嬮噺鐨勫噯纭€э紝鍏朵腑鍏夋爡鐨勬妧鏈寚鏍囧挨涓洪噸瑕併€傚瀷浠櫒鐨勫厜鏍呰川閲忚緝濂斤紝涓€鑸緝浣崇殑鍏夋爡涓哄嚬闈㈠瀷锛屽苟涓斿ぇ灏哄鐨勫嚬闈㈠厜鏍呭搴旂殑鍒绘Ы鏁拌秺澶氾紝鍥犳鍦ㄥ垎杈ㄧ巼鍜屾潅鏁ｅ厜鏂归潰鎸囨爣瑕佷紭浜庣畝鏄撳瀷浠櫒銆侟/p>

7銆佹娴嬪櫒

妫€娴嬪櫒鏄埄鐢ㄥ厜鐢垫晥搴旓紝灏嗛€忚繃婧舵恫鐨勫厜淇″彿杞崲涓虹數淇″彿锛屽苟灏嗙數淇″彿鏀惧ぇ鐨勮缃€傜畝鏄撳瀷浠櫒涓€鑸噰鐢ㄥ厜鏁忎簩鏋佺锛涗腑妗ｅ瀷浠櫒閲囩敤纭呭厜浜屾瀬绠★紱鍨嬩华鍣ㄧ殑妫€娴嬪櫒浣跨敤楂樼伒鏁忓害鐨勫厜鐢靛€嶅绠″拰绾㈠妫€娴嬪櫒銆侟/p>

8銆佹樉绀哄櫒

绠€鏄撳瀷浠櫒澶氫负鏈烘琛ㄥご鎴栨暟鐮佺鏄剧ず鍣紝娌℃湁鏁版嵁澶勭悊鍣紱鍨嬩华鍣ㄧ殑鏄剧ず鍣ㄤ负娑叉櫠寮忔垨杩炴帴鐢佃剳锛屾暟鎹鐞嗗彲鐢变华鍣ㄨ嚜韬叿鏈夌殑鎴栧鎺ヨ绠楁満澶勭悊銆侟/p>

9銆佹祴閲忔ā寮廃/p>

绠€鏄撳瀷浠櫒澶氫负瀹氱偣(鍥哄畾娉㈤暱)鍚稿厜搴︽垨閫忚繃鐜囨祴閲忔柟寮忥紝鍩烘湰涓嶈兘杩涜娉㈤暱鎵弿娴嬮噺锛涘瀷浠櫒鐨勬祴閲忔ā寮忚緝澶氾紝鍙互鏄剧ず閫忚繃鐜囥€佸惛鍏夊害銆佹祿搴︾洿鎺ヨ鏁般€佸崟鍏夋潫锛屽崟鐐瑰強鎵弿鍧囧彲銆侟/p>

10銆佹祴閲忛檮浠迭/p>

琛￠噺浠櫒璐ㄩ噺楂樹綆鐨勯噸瑕佹柟闈㈡槸鐪嬩华鍣ㄦ槸鍚﹀叿鏈変赴瀵岀殑闄勫睘娴嬮噺鍣ㄤ欢锛屽鍋忔尟闄勪欢銆佺Н鍒嗙悆闄勪欢銆佸弽灏勯檮浠躲€佽嚜鍔ㄨ繘鏍峰櫒闄勪欢銆佽壊搴﹀垎鏋愯蒋浠躲€佽杽鑶滈檮浠躲€侟/p>

11銆佹祴閲忔牱鍝佺殑鐘舵€?/p>

鍙鍜岀传澶栫殑鍒嗗厜鍏夊害璁′竴鑸祴閲忔恫鎬佹牱鍝侊紝绾㈠鍒嗗厜鍏夊害璁′竴鑸兘鍒嗘瀽鍚勭鐘舵€?姘斻€佹恫銆佸浐)鐨勮瘯鏍枫€侟/p>