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EZ6匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
EZ6匀胶机图片

品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
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品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
半岛游戏平台官网入口网址 类型: 匀胶机
半岛bd体育手机客户端 介绍

半岛bd体育手机客户端 性能介绍:

◆尺寸较小,结构紧凑,适合直接放于手套箱内操作,最大可旋涂6寸圆形底物

◆彩色触屏控制,界面简单易用,且自带帮助功能,提供使用向导,对初次使用者非常方便

◆提供多步编程旋涂工艺运行,最多可存贮10组10步程序,还可升级自动点胶功能

◆工业级直流马达,转轴旋转稳定,重复性好

◆独特真空系统设计,可靠性高

半岛bd体育手机客户端 参数:

● HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔,带排废功能

●SUS耐腐蚀不锈钢机身,耐溶剂性PC透明盖子

●4.3寸全彩触屏人机界面,提供触屏笔操作

●100W直流无刷电机,单片机控制

●内腔直径200mm,可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物

●转速可控范围:100-12000rpm,转速分辨率:1rpm

●加速度可控范围:100-30000rpm/s

●可进行多步程序运行,最多可存贮10组10步程序

●带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能

●宽输入电压适用:AC100-230V输入

●带真空和盖子开关互锁功能,确保操作安全

●可选择设置开机密码功能,提高设备操作安全性

半岛bd体育手机客户端 外型尺寸:270(W)*387(D)*258(H)

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