型号: | AC300-SE |
品牌: | LEBO(雷博) |
产地: | 江阴 |
半岛游戏平台官网入口网址 类型: | 匀胶机 |
半岛bd体育手机客户端 性能介绍:
◆ 最新的内部紧凑设计,缩小设备尺寸
◆7"触屏控制面板操作系统
◆Telon?/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺
◆标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制
◆采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部
◆机身选用耐腐蚀不锈钢,内腔采用HDPE材料
◆排风和抽气系统位计于载片台之底部,以利于排风效率和匀胶均一性
◆透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发
半岛bd体育手机客户端 参数说明:
● 旋涂程序:最多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
●转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
●旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s
●马达旋涂转速稳定性能误差: < ±1rpm
●转速调节精度和重复性: 1rpm
●工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
●支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆晶)
●旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(去除边缘3毫米区域测量)
半岛bd体育手机客户端 外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)