·颠覆性的技术革新，致轻、致小，完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
·2.83L/min，同时测试0.1、0.3μm微小粒子
·4.3英寸彩色触摸屏显示屏
·可使用附带软件在PC上显示测试数据
·设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
| 品名 |
尘埃粒子计数器 |
| 型号 |
3950 |
| 粒子测量 |
测试方法 |
光散射法 |
| 粒径通道 |
2粒径(0.1、0.3μm) |
| 额定流量 |
0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) |
| 测量时间 |
6秒～99分59秒(1次测量时间) |
| 间隔时间 |
6秒～99分59秒(测量周期) |
| 采样次数 |
1～999次 或 连续测试 |
| 地点设定 |
99个地点 |
| 测量方式 |
重复、单次、连续、计算、ISO , GB*(共6种模式) |
| 测量数据显示时间 |
1～10秒 |
| 测量数据显示 |
累计值∑ 差分值△及柱形图 |
| 最大可测浓度 |
10,000,000个/m3 |
| 计数效率 |
50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子)
100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍～2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4) |
| 伪计数 |
<1个/35min |
| 粒径分辨率 |
15%以下(相对0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4) |
| 气源 |
内置泵 |
| 显示器 |
4.3英寸彩色液晶 触摸屏 |
| 通迅功能 |
本体 |
USB(Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud) |
| 数据存储 |
媒体 |
内存 |
| 数量、格式 |
最大10,000个、CSV格式 |
| 显示语言 |
英文、日语 |
| 电 源 |
AC100～240V |
| 使用环境 |
本体 |
15～35℃、0～85%RH (无结露) |
| 外形尺寸 |
W150 X H163 X D228 mm |
| 重 量 |
3.4kg |
