● 用静电电容方式、Max.100点/秒的高速测试
● 结合**探针减轻针痕
● 软件更新,可操作性显著提高
■ 规格概要
手臂数 |
2(正面*2) |
可安装探针 |
1172系列,CP1072系列 |
测试步数 |
999999步 |
测量参数和测量范围 |
电阻测量 |
40.00 μΩ ~ 40.00 MΩ |
绝缘电阻测量 |
1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ |
电容测量 |
100.0 fF ~ 10.00 μF |
漏电流测量 |
1.000 μA ~ 10.00 mA |
高压电阻测量 |
1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ |
电容绝缘电阻 |
1.000 kΩ ~ 10.00 MΩ |
开路测量 |
4.000 Ω ~ 4.000 MΩ |
短路测量 |
400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ |
判定范围 |
?99.9% ~ +999.9%, 或绝对值 |
综合定位精度 |
□20μm (注: 根据检查条件有所限制) |
测点最小间距 |
50μm (使用探针CP1072-01时, L-R手臂间距) |
测量时间 |
Max. 100步/秒 (0.1mmX-Y移动,2手臂同时探测 电容测试) |
可测试基板尺寸 |
50(W) × 50(H) ~ 610(W) × 510(H)mm, 厚度 0.1mm~ 3.2mm |
最大可测区域 |
610mm(W)× 510mm(H) |
基板固定 |
水平放置,真空吸附 |
电源 |
AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订购时指定) 50/60 Hz, 最大功耗:3 kVA |
体积及重量 |
1303(W) × 1194(H) × 1167(D)mm±10mm (突出部分除外) 900 kg±50kg |