【应用领域】

SDG型系列高纯水电导率仪，用于测量高纯水电导率，其测量纯水可以达到nS/cm级，测量精确、准确、稳定。

高纯水主要应用于电子和微电子工业上，也用于食品、造纸、医药等行业。半导体器件由单电路到集成电路到超高集成电路，其用水的水质要求就越来越高。在半导体切片和研磨过程中，须用高纯水进行清洗。

【品质】

VIOLET^®智创，更强、更好、更精彩！

◆ 最大允许误差：

  SDG001：±0.1%FS

  SDG002：±0.2%FS

 保障高精度测量；

◆ 测量电导率，可实时切换电阻率；

◆ 支持功能拓展、扩展；

◆ 自动温度补偿(可以选择手动补偿)。

【功能、特点】

◆ 六键操作、光标引导；

◆ 支持N点标定(N=1～8)，支持标定设为理论值；

◆ VIOLET^®智创，餍足一支电极全量程范围应用；

◆ 测量响应灵敏，平衡后“精、准、快”即时显现；

◆ 数据采集、存储符合GLP规范。库存数据可查询、转移、删除(单组)、清零(全部)，数据库可无限保存采集数据(SD卡转移输出)；

◆ 自动温度补偿(可以选择手动补偿)；

◆ 显示屏背光可调；

◆ 操作菜单可选中文、英文。

【技术参数】

【高纯水电导率】

一般称电导率小于0.1μS/cm的纯水为高纯水。在工艺条件下制备的高纯水，杂质近乎为零。高纯水电导率(或电阻率)是水质要求关健指标。

高纯水制备的典型工艺流程如下：源水→过滤→活性炭过滤器(或有机大孔树脂吸附器)→反渗透器(或电渗析器)→阳离子交换柱→阴离子交换柱→ 混合离子交换柱→有机物吸附柱→紫外灯杀菌器→精密过滤器→高纯水。

制定高纯水标准主要依据：(1).微电子工艺对水质的要求；(2).制水工艺的发展水平；(3).水中杂质监测技术的现状等。目前，在1 G(及以上)位超大规模集成电路制造中，对高纯水的技术要求很严。

电极常数标定：用标准纯水(已知电导率值)作为标定溶液，标定电极常数。标定前用高纯水把电极清洗干净，并用虑纸吸干水分，再用标定纯水适量冲洗。