鍏夋爡鍏夎氨浠紝鏄皢鎴愬垎澶嶆潅鐨勫厜鍒嗚В涓哄厜璋辩嚎鐨勭瀛︿华鍣ㄣ€傞€氳繃鍏夎氨浠鍏変俊鎭殑鎶撳彇銆佷互鐓х浉搴曠墖鏄惧奖锛屾垨鐢佃剳鍖栬嚜鍔ㄦ樉绀烘暟鍊间华鍣ㄦ樉绀哄拰鍒嗘瀽锛屼粠鑰屾祴鐭ョ墿鍝佷腑鍚湁浣曠鍏冪礌銆傚厜鏍呭厜璋变华琚箍娉涘簲鐢ㄤ簬棰滆壊娴嬮噺銆佸寲瀛︽垚浠界殑娴撳害娴嬮噺鎴栬緪灏勫害瀛﹀垎鏋愩€佽啘鍘氭祴閲忋€佹皵浣撴垚鍒嗗垎鏋愮瓑棰嗗煙涓€侟br/> 鍏夎氨鍒嗘瀽鏂规硶浣滀负涓€绉嶉噸瑕佺殑鍒嗘瀽鎵嬫锛屽湪绉戠爺銆佺敓浜с€佽川鎺х瓑鏂归潰锛岄兘鍙戞尌鐫€鏋佸ぇ鐨勪綔鐢ㄣ€傛棤璁烘槸绌块€忓惛鏀跺厜璋憋紝杩樻槸鑽у厜鍏夎氨锛屾媺鏇煎厜璋憋紝濡備綍鑾峰緱鍗曟尝闀胯緪灏勬槸涓嶅彲缂哄皯鐨勬墜娈点€傜敱浜庣幇浠ｅ崟鑹蹭华鍙叿鏈夊緢瀹界殑鍏夎氨鑼冨洿锛圲V-IR锛夛紝楂樺厜璋卞垎杈ㄧ巼锛堝埌0.001nm锛?鑷姩娉㈤暱鎵弿锛屽畬鏁寸殑鐢佃剳鎺у埗鍔熻兘鏋佹槗涓庡叾浠栧懆杈硅澶囪瀺鍚堜负楂樻€ц兘鑷姩娴嬭瘯绯荤粺锛屼娇鐢ㄧ數鑴戣嚜鍔ㄦ壂鎻忓鍏夋爡鍗曡壊浠凡鎴愪负鍏夎氨鐮旂┒鐨勯閫夈€
褰撲竴鏉熷鍚堝厜绾胯繘鍏ュ崟鑹蹭华鐨勫叆灏勭嫮缂濓紝棣栧厛鐢卞厜瀛﹀噯鐩撮暅姹囪仛鎴愬钩琛屽厜锛屽啀閫氳繃琛嶅皠鍏夋爡鑹叉暎涓哄垎寮€鐨勬尝闀匡紙棰滆壊锛夈€傚埄鐢ㄦ瘡涓尝闀跨寮€鍏夋爡鐨勮搴︿笉鍚岋紝鐢辫仛鐒﹀弽灏勯暅鍐嶆垚鍍忓嚭灏勭嫮缂濄€傞€氳繃鐢佃剳鎺у埗鍙簿纭湴鏀瑰彉鍑哄皠娉㈤暱銆侟/span>

鍏夋爡浣滀负閲嶈鐨勫垎鍏夊櫒浠讹紝瀹冪殑閫夋嫨涓庢€ц兘鐩存帴褰卞搷鏁翠釜绯荤粺鎬ц兘銆備负鏇村ソ鍗忓姪鍚勪綅浣跨敤鑰呴€夋嫨锛屽湪姝ゅ仛涓€绠€瑕佷粙缁嶃€
鍏夋爡鍒嗕负鍒诲垝鍏夋爡銆佸鍒跺厜鏍呫€佸叏鎭厜鏍呯瓑銆傚埢鍒掑厜鏍呮槸鐢ㄩ捇鐭冲埢鍒€鍦ㄦ秱钖勯噾灞炶〃闈㈡満姊板埢鍒掕€屾垚锛涘鍒跺厜鏍呮槸鐢ㄦ瘝鍏夋爡澶嶅埗鑰屾垚銆傚吀鍨嬪埢鍒掑厜鏍呭拰澶嶅埗鍏夋爡鐨勫埢妲芥槸涓夎褰€€傚叏鎭厜鏍呮槸鐢辨縺鍏夊共娑夋潯绾瑰厜鍒昏€屾垚銆傚叏鎭厜鏍呴€氬父鍖呮嫭姝ｅ鸡鍒绘Ы銆傚埢鍒掑厜鏍呭叿鏈夎灏勬晥鐜囬珮鐨勭壒鐐癸紝鍏ㄦ伅鍏夋爡鍏夎氨鑼冨洿骞匡紝鏉傛暎鍏変綆锛屼笖鍙綔鍒伴珮鍏夎氨鍒嗚鲸鐜囥€侟/span>

濡備綍閫夋嫨鍏夋爡涓昏鑰冭檻濡備笅鍥犵礌锛
1銆侀棯鑰€娉㈤暱锛岄棯鑰€娉㈤暱涓哄厜鏍呮渶澶ц灏勬晥鐜囩偣锛屽洜姝ら€夋嫨鍏夋爡鏃跺簲灏介噺閫夋嫨闂€€娉㈤暱鍦ㄥ疄楠岄渶瑕佹尝闀块檮杩戙€傚瀹為獙涓哄彲瑙佸厜鑼冨洿锛屽彲閫夋嫨闂€€娉㈤暱涓?00nm銆
2銆佸厜鏍呭埢绾匡紝鍏夋爡鍒荤嚎澶氬皯鐩存帴鍏崇郴鍒板厜璋卞垎杈ㄧ巼锛屽埢绾垮鍏夎氨鍒嗚鲸鐜囬珮锛屽埢绾垮皯鍏夎氨瑕嗙洊鑼冨洿瀹斤紝涓よ€呰鏍规嵁瀹為獙鐏垫椿閫夋嫨銆
3銆佸厜鏍呮晥鐜囷紝鍏夋爡鏁堢巼鏄灏勫埌缁欏畾绾ф鐨勫崟鑹插厜涓庡叆灏勫崟鑹插厜鐨勬瘮鍊笺€傚厜鏍呮晥鐜囨剤楂橈紝淇″彿鎹熷け鎰堝皬銆備负鎻愰珮姝ゆ晥鐜囷紝闄ゆ彁楂樺厜鏍呭埗浣滃伐鑹哄锛岃繕閲囩敤鐗规畩闀€鑶滐紝鎻愰珮鍙嶅皠鏁堢巼銆侟/span>

鍙嶅皠寮忚灏勫厜鏍呮槸鍦ㄨ‖搴曚笂鍛ㄦ湡鍦板埢鍒掑緢澶氬井缁嗙殑鍒绘Ы锛屼竴绯诲垪骞宠鍒绘Ы鐨勯棿闅斾笌娉㈤暱鐩稿綋锛屽厜鏍呰〃闈㈡秱涓婁竴灞傞珮鍙嶅皠鐜囬噾灞炶啘銆傚厜鏍呮矡妲借〃闈㈠弽灏勭殑杈愬皠鐩镐簰浣滅敤浜х敓琛嶅皠鍜屽共娑夈€傚鏌愭尝闀匡紝鍦ㄥぇ澶氭暟鏂瑰悜娑堝け锛屽彧鍦ㄤ竴瀹氱殑鏈夐檺鏂瑰悜鍑虹幇锛岃繖浜涙柟鍚戠‘瀹氫簡琛嶅皠绾ф銆傚鍥?鎵€绀猴紝鍏夋爡鍒绘Ы鍨傜洿杈愬皠鍏ュ皠骞抽潰锛岃緪灏勪笌鍏夋爡娉曠嚎鍏ュ皠瑙掍负伪锛岃灏勮涓何诧紝琛嶅皠绾ф涓簃锛宒涓哄埢妲介棿璺濓紝鍦ㄤ笅杩版潯浠朵笅寰楀埌骞叉秹鐨勬瀬澶у€硷細M位=d锛坰in伪+sin尾锛夛紝瀹氫箟蠁涓哄叆灏勫厜绾夸笌琛嶅皠鍏夌嚎澶硅鐨勪竴鍗婏紝鍗诚咠(伪-尾)/2锛浳镐负鐩稿浜庨浂绾у厜璋变綅缃殑鍏夋爡瑙掞紝鍗澄俘(伪+尾)/2,寰楀埌鏇存柟渚跨殑鍏夋爡鏂圭▼锛
m位=2dcos蠁sin胃
浠庤鍏夋爡鏂圭▼鍙湅鍑猴細
瀵逛竴缁欏畾鏂瑰悜尾锛屽彲浠ユ湁鍑犱釜娉㈤暱涓庣骇娆鐩稿搴斘绘弧瓒冲厜鏍呮柟绋嬨€傛瘮濡?00nm鐨勪竴绾ц緪灏勫拰300nm鐨勪簩绾ц緪灏勩€?00nm鐨勪笁绾ц緪灏勬湁鐩稿悓鐨勮灏勮锛岃繖灏辨槸涓轰粈涔堣鍔犳秷浜岀骇鍏夎氨婊ゅ厜鐗囪疆鐨勬剰涔夈€
琛嶅皠绾фm鍙鍙礋銆
瀵圭浉鍚岀骇娆＄殑澶氭尝闀垮湪涓嶅悓鐨勎插垎甯冨紑銆
鍚娉㈤暱鐨勮緪灏勬柟鍚戝浐瀹氾紝鏃嬭浆鍏夋爡锛屾敼鍙樜憋紝鍒欏湪伪+尾涓嶅彉鐨勬柟鍚戝緱鍒颁笉鍚岀殑娉㈤暱銆侟/span>