无机质谱仪，主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面，它与有机质谱仪工作原理不同的是物质离子化的方式不一样：无机质谱仪是以电感耦合高频放电（ICP）或其他的方式使被测物质离子化。无机质谱仪测试速度快，结果精确。无机质谱仪广泛用于地质学、矿物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术和公安工作等特种分析方面。

无机质谱仪可以分为：
1、火花源质谱仪；
2、离子探针质谱仪；
3、激光探针质谱仪；
4、辉光放电质谱仪；
5、电感耦合等离子体质谱仪。
火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，而且可以进行表面和逐层分析甚至液体分析，原则上可测定周期表上从氢到铀的全部元素，检测灵敏度可达10^-12～10^-13g；激光探针质谱仪可进行表面和纵深分析；辉光放电质谱仪分辨率高，可进行高灵敏度，高精度分析，适用范围包括元素周期表中绝大多数元素，分析速度快，便于进行固体分析；电感耦合等离子体质谱，谱线简单易认，灵敏度与测量精度很高。